景深是指工作距离的一定范围,在该范围内,图像的清晰度可以接受。理想的工作距离将在聚焦后呈现Z佳分辨率。
然而,有些情况下,例如,在观察较高样品时,分辨率变得不太重要,反而景深对结果的影响更大。对昆虫进行成像时,关键是要让画面中的所有特征都清晰可辨,比如它的腿和头。对电子线路连接成像也是如此,完整观察样品需要在同一图像中聚焦整个电线和电路板。在这种情况下,较长的工作距离有助于获得更大的景深,得到更多细节清晰可见的图像。
样品越靠近镜筒,电子束角度越大。这意味着与焦平面的微小偏差将导致电子束直径不断增大,从而使得图像更加模糊。
反之,样品距离镜筒越远,电子束角度越小,与焦平面高度的偏差所导致的电子束直径变化也就越小,因此,可以清晰地观察到不同高度处的所有特征物。
通常,扫描电子显微镜的景深可以从几微米增加到几毫米,通过调整景深,可以对需要重点关注的特征进行深入观察,获得高质量的图像从而取得Z佳的分析结果。